26
５
５
４
４
３
軽度
４
５
４
４
３
２
中程度
３
４
４
３
２
１
重大性大 ２
４
３
２
１
１
致命的
１
ほとんどなし E
まれ
D
可能性あり C
比較的あり B
頻繁
A
１：死亡者１名以上
２：身体障害をもたらすケガまたは疾病
３：治療を伴うか作業行為を制限される
もの
４：応急処置のみ
A：年５回以上
B：年１回から５回の範囲
C：５年間で１回以上，ただし年１回以下
D：１０年間で１回以上，ただし５年間で
１回以下
E：１０年間で１回以下
SEMI半導体製造装置の安全性ガイドライン